漏液检测带在半导体洁净车间的应用

场所：半导体洁净车间工艺产线、纯水 / 化学品输送管路、晶圆清洗台、废液收集区等核心区域。
需求：实时监测酸碱液、有机溶剂、超纯水等介质泄漏，快速定位漏点，避免污染洁净环境、损坏精密设备。
痛点：车间空间密闭、漏液量初期极小易忽视，人工巡检滞后，漏液易腐蚀产线、造成晶圆报废，......