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漏液监测系统
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漏液检测带在半导体洁净车间的应用

半导体洁净车间

场所:半导体洁净车间工艺产线、纯水 / 化学品输送管路、晶圆清洗台、废液收集区等核心区域。

需求:实时监测酸碱液、有机溶剂、超纯水等介质泄漏,快速定位漏点,避免污染洁净环境、损坏精密设备。

痛点:车间空间密闭、漏液量初期极小易忽视,人工巡检滞后,漏液易腐蚀产线、造成晶圆报废,且洁净区污染后恢复成本高。

价值:毫秒级感应漏液并报警,精准定位漏点,减少人工巡检成本;从源头阻断漏液扩散,保护洁净环境和精密设备,降低生产损耗,保障产线连续稳定运行,规避洁净区污染带来的高额恢复费用。

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成功案例
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产品中心
  • 漏液监测子控制器 DGS-MD1C-L
  • 漏液监测子控制器 DGS-MS1T-TL
  • MM02液体泄漏检测主控制器
  • 感应带 DGS-TD01
  • 非定位漏液感应带 DGS-TS01