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柳智科技·创新感知未来
漏液监测系统
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漏液感应带在湿法制程设备上的应用

湿法制程设备

场所:湿法制程设备区,涵盖清洗机、涂胶显影机、电镀设备、刻蚀机、IPA干燥/甩干机、自动供液柜等周边。

需求:实时监测各类腐蚀性、挥发性工艺液体泄漏,实现早期预警,防止液体扩散污染。

痛点:传统巡检依赖人工,漏液发现滞后易致设备腐蚀、停机停产,还存在安全与环保风险。

价值:纳米银浆感应带贴合设备安装,微量泄漏即刻触发报警,定位精准;减少人工巡检成本,避免停产损失,降低安全与环保隐患,保障湿法制程连续稳定运行。

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  • 漏液监测长江存储半导体板块项目
成功案例
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产品中心
  • 漏液监测子控制器 DGS-MD1C-L
  • 漏液监测子控制器 DGS-MS1T-TL
  • MM02液体泄漏检测主控制器
  • 感应带 DGS-TD01
  • 非定位漏液感应带 DGS-TS01